主要技術(shù)指標(biāo) 1、外型形式：單管臥式結(jié)構(gòu) 2、*高設(shè)計溫度：1000℃ 3、使用溫度范圍：100℃——1000℃ 4、恒溫區(qū)長度：600mm。 6、工藝石英管外徑： 2-4寸 。 7、溫度控制：育豪研發(fā)YH-8500系統(tǒng)（全自動觸摸屏控制） 8、恒溫區(qū)精度：≤±1℃／600mm(工作范圍內(nèi)) 9、單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性：≤±1℃／24h 10、溫度重復(fù)性：≤±1℃／24h 11、斜變能力：*大可控升溫速率15℃／min，*大可控降溫速率：5℃／min 12、總功率：20KW。 13、保溫總功率：低于9KW。 14、Spike外控溫?zé)崤迹篕分度. 15、工作真空度：≤10X10-4Pa 16、密封性能：漏氣率≤1X10-7Pa·m3／s 17、真空機(jī)組：初級泵采用機(jī)械泵，二級泵采用無油分子泵 18、真空閥門：全自動電磁真空蝶閥 19、氣路系統(tǒng)氣密性：1X10-7 Pa·M3／S 20、報警系統(tǒng)：超溫報警、斷偶報警、真空故障報警、真空室壓力異常報警、 21、控制方式：程序控制溫度（整套采用觸摸屏控制） 22、電源：二相三線220V。 24、預(yù)留一路放氣口。