全自動擴散爐
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發(fā)布時間：2014-3-7 14:31:55
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產(chǎn)品介紹：
功能特點：
擴散爐應用于半導體器件、分立器件、光電子器件、電力電子器件、及大規(guī)模集成電路制造等領域?qū)M行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，可用于2-8英寸工藝尺寸。
★全中文windows操作界面，可編輯參數(shù)，操作方便。
★可保存多條工藝曲線，每條曲線可設置多步。
★工藝曲線的自動運行控制功能。
★自動運行中可暫停/繼續(xù)運行功能。
★工藝中可強制跳到下一個工藝步運行功能。
★智能升降溫斜率制功能。
★PID參數(shù)自整定功能。
★系統(tǒng)故障的檢測與報警功能。
★智能懸臂推拉舟控制功能。
★停電后斷點繼續(xù)運行功能。
★工藝氣體的程序控制功能（電磁閥/質(zhì)量流量控制器）。
★可根據(jù)用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應的功能。
主要技術指標：
★爐管內(nèi)徑：¢90~¢300（2英寸~8英寸）
★恒溫區(qū)長度及精度：≤1250mm±0.5（300℃~1290℃）
★控溫儀表：進口高精度控溫儀
★氣源路數(shù)：主管道1~4路
★氣體種類：N2、H2、O2、HCL等
★氣源控制：MFC或浮子流量計
★推拉舟行程：*大2000mm
★推拉舟速度范圍及精度：（20~1000）±2mm/min
★推拉舟方式：簡易式、懸臂式、SiC硅槳式
★冷卻方式：水冷+風冷
★工控機：工控機控制
設備特性：
具有多條工藝曲線，調(diào)用方便快捷；運行中，具有停電記憶功能觸摸微機界面，操作方便；具有超溫保護功能
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聯(lián)系方式
- 主營行業(yè): 燒結設備
- 經(jīng)營模式：生產(chǎn)型
- 經(jīng)營性質(zhì)：私營企業(yè)
- 地區(qū)：山東
- 友情鏈接：粉末冶金
0532-87671566