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    上海煜志機電設備有限公司

    15800907857
    產(chǎn)品詳細
    YCVD-1200氣相沉積爐

    YCVD-1200氣相沉積爐

    產(chǎn)品型號:YCVD-1200

    參考價格:100

    產(chǎn)地:上海

    發(fā)布時間:2016-12-27 10:45:07

    在線咨詢

    產(chǎn)品介紹:
    CVD-1200系統(tǒng)由開啟式管式爐、高真空分子泵系統(tǒng)、壓強控制儀及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成?蓪崿F(xiàn)真空達0.001Pa混合氣體化學氣相沉積和擴散試驗, 適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長、電池材料干燥燒結等。
    主要功能和特點:
    1、高真空系統(tǒng)由雙級旋片真空泵和分子泵組成,*高真空可達0.0001Pa;
    2、可配合壓強控制儀控制氣體壓力,實現(xiàn)負壓的精準控制;
    3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計,流量顯示儀等組成,實現(xiàn)氣體的流量的精密測量和控制;
    4、每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性;
    5、采用KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;
    6、管路采用世界*Swagelok卡套連接,不漏氣;
    7、超溫、過壓時,自動切斷加熱電源及流量計進氣,使用安全可靠。
    主要技術參數(shù):
    YG-1206管式實驗電爐 控溫方式 采用人工智能調(diào)節(jié)技術,具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能,并可編制30段升降溫程序。
    加熱元件 0Cr27Al7Mo2
    工作電源 AC220V 50Hz/60Hz
    額定功率 4kw
    爐管材質(zhì) 高純石英管
    爐管尺寸 Φ60/Φ80/Φ100*1000mm
    工作溫度 ≤1150℃
    *高溫度 1200℃
    恒溫精度 ±1℃
    恒溫區(qū) 200mm
    升溫速度 ≤10℃/min
    密封方式 不銹鋼快速法蘭擠壓密封
    ZK-F
    分子泵真空系統(tǒng) 真空范圍 0.1-0.001Pa
    極限真空 4.0*10^-4Pa
    產(chǎn)品配置 雙級旋片真空泵+分子泵
    測量方式 復合真空計
    真空規(guī)管 電阻規(guī)+電離規(guī)
    冷卻方式 風冷
    工作電源 AC220V 50/60HZ
    抽速 110L/S
    ZDFC-Ⅲ
    壓強控制系統(tǒng) 測量范圍 5~1*10^-5 Pa
    穩(wěn)壓(真空)范圍 1~5*10^-3Pa
    壓力(真空)穩(wěn)定精度) ±3%
    控制范圍 2.5*10^3~1*10^-4 Pa
    控制精度 ± 1%
    HQZ-Ⅲ
    混氣系統(tǒng) 控制方式 D07-7K質(zhì)量流量計,D08流量顯示儀
    流量規(guī)格 0-500SCCM /0-1SLM,(可根據(jù)客戶需要配置)
    線性 ±1%F.S
    準確度 ±1%F.S
    重復精度 ±0.2%F.S.
    響應時間 ≤2sec
    耐壓 3MPa
    氣路通道 3通道(根據(jù)客戶需求)
    針閥 316不銹鋼
    管道 Φ6mm不銹鋼管
    接口 SwagelokΦ6mm

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