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上海鉅晶精密儀器制造有限公司

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產(chǎn)品詳細
PECVD-1200系統(tǒng) 等離子體化學氣相沉積系統(tǒng) 滑動式PECVD系統(tǒng)

PECVD-1200系統(tǒng) 等離子體化學氣相沉積系統(tǒng) 滑動式PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品型號:PECVD-1200

參考價格:-

產(chǎn)地:上海

發(fā)布時間:2025-8-9 9:58:06

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產(chǎn)品介紹:
應用領域:
等離子體增強化學氣相沉積(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)是一種利用等離子體輔助的低溫薄膜沉積技術,廣泛應用于以下領域:

半導體與微電子
- 集成電路(IC):沉積SiN₃、SiO₂等介電層,用于鈍化、隔離和柵介質(zhì)。
- MEMS器件:制備應力可調(diào)的SiN薄膜,用于傳感器和微機械結構。
光伏與新能源
- 硅基太陽能電池:沉積減反射層(SiNₓ)和鈍化層,提升光電轉(zhuǎn)換效率。
- 鈣鈦礦太陽能電池:低溫制備電子傳輸層(如SnO₂)和封裝層。
顯示與光學
- OLED/LCD顯示:制備絕緣層、阻擋層(如SiNₓ),防止水氧滲透。
- AR/VR光學鍍膜:沉積高折射率薄膜(如TiO₂、SiNₓ)用于透鏡涂層。
柔性電子
- 柔性基板(PI/PET):低溫沉積ITO透明導電膜或封裝層。
- 可穿戴設備:制備生物兼容性薄膜(如DLC)用于傳感器保護。
科研與前沿材料
- 二維材料:可控生長過渡金屬硫化物(如MoS₂)。
- 量子點器件:封裝量子點發(fā)光層(QLED)。

技術特點:

1. 低溫工藝優(yōu)勢
- 沉積溫度:80~400℃,兼容塑料、聚合物等熱敏感基底。
- 對比傳統(tǒng)CVD:避免高溫導致的基底變形或性能退化。
2. 等離子體增強反應
- 射頻(RF)或微波等離子體:分解反應氣體(如SiH₄/NH₃),提高沉積速率。
- 離子轟擊效應:改善薄膜致密性和附著力。
3. 薄膜性能調(diào)控
- 成分可控:通過調(diào)節(jié)氣體比例(如SiH₄/N₂O)獲得SiOxNy漸變膜。
- 應力工程:壓應力/張應力薄膜可通過功率和氣壓調(diào)節(jié)。
4. 設備配置特點
- 多腔體設計:避免交叉污染,支持批量生產(chǎn)。
- 在線監(jiān)測:集成橢偏儀或光譜儀實時監(jiān)控膜厚/折射率。
5. 工藝靈活性
- 支持多種模式:直接PECVD、遠程等離子體、脈沖PECVD。
- 可選功能:紫外后處理(UV-Cure)提升薄膜性能。

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